{"id":658,"date":"2015-06-29T17:10:31","date_gmt":"2015-06-29T20:10:31","guid":{"rendered":"https:\/\/sites.ifi.unicamp.br\/lamult\/?page_id=658"},"modified":"2020-07-03T19:22:03","modified_gmt":"2020-07-03T22:22:03","slug":"laser-writer-heidelberg-litografia-a-laser","status":"publish","type":"page","link":"https:\/\/sites.ifi.unicamp.br\/lamult\/acervos-de-equipamentos\/acervo-lamult\/laser-writer-heidelberg-litografia-a-laser\/","title":{"rendered":"Laser Writer Heidelberg – Litografia a laser"},"content":{"rendered":"

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\"litografialaser\"<\/p>\n

O sistema de litografia \u00b5pg101 da Heidelberg Instruments consiste em uma m\u00e1quina capaz de expor um substrato previamente preparado a um feixe de laser com resolu\u00e7\u00e3o microm\u00e9trica. Essa exposi\u00e7\u00e3o \u00e9 realizada na forma de um desenho ou padr\u00e3o inserido pelo usu\u00e1rio atrav\u00e9s de arquivos GDSII, DXF, Bitmap, CIF ou Gerber.<\/h4>\n

            O equipamento \u00e9 \u00fatil na fotolitografia, processo utilizado em micro fabrica\u00e7\u00e3o de um modo geral, com destaque para a s\u00edntese de MEMS (Micro Eletrical Mechanical Systems) e circuitos integrados. Tem vasta aplica\u00e7\u00e3o nas \u00e1reas de microeletr\u00f4nica, micro flu\u00eddica e de dispositivos, entre outras.<\/h4>\n

            O equipamento pode carregar substratos de at\u00e9 5 polegadas, tem sistema de posicionamento com ajuste de foco em tempo real e passo m\u00ednimo nos eixos XY de 40 nm. Vem equipado com laser de estado s\u00f3lido com comprimento de onda de 380 nm. Pode ser usado para fabricar estruturas da ordem de 0,9 um, com velocidade de at\u00e9 5 mm2<\/sup> por minuto.<\/h4>\n

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  O sistema de litografia \u00b5pg101 da Heidelberg Instruments consiste em uma m\u00e1quina capaz de expor um substrato previamente preparado a um feixe de laser com resolu\u00e7\u00e3o microm\u00e9trica. Essa exposi\u00e7\u00e3o \u00e9 realizada na forma de um desenho ou padr\u00e3o inserido pelo usu\u00e1rio atrav\u00e9s de arquivos GDSII, DXF, Bitmap, CIF ou Gerber.             O equipamento \u00e9 … <\/p>\n

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