Cópia slides sobre adsorção, difusão superficial e crescimento de filmes
PARA A SEGUNDA PROVA DE FI204 EM 26:11:2025
Ref 1. Teoria cinética dos gases rarefeitos. (Texto interno do IFGW).
Ref 2. “Handbook of Thin Film Technology”, L I Maissel and R. Glang, cap. 1, McGraw-Hill, (1970).
Ref. 3. “Physical Vapor Deposition of Thin Films”, J. E. Mahan, cap. I, John Wiley, (2000).
Ref 4. A Lei de Raoult. (Ver Ref. 2, págs.1-73 a 1-78).
Ref 6. Perfilometria de alta resolução. (Ver Ref. 2, cap. 11, págs. 11-29 a 11-31).
Ref.7. Sobre evaporação de GaAs.
Ref. 8, “Thin Film Deposition”, D. L. Smith, cap. 4, McGraw-Hill, (1995), págs. 101-105..
Ref. 9 .Handbook of Thin Film Technology, Maissel and Glang, cap. 3, Mc Graw-Hill (1970)
Ref. 10. Glow Discharge Processes B. Chapman, ch 6, John Wiley, (1980). pdf
Ref. 11. Thin Film Processes, J. L. Vossen and W. Kern, chs. I-1 to II-5, Academic Press (1978)
Ref. 12. Determinação semiquantitativa da densidade de um vapor no plasma
Ref. 13. Glow Discharde Processes, B. Chapman, cap. 2, John Wiley (1980)
Ref. 14. Glow Discharge Processes, B. Chapman, cap. 4, John Wiley (1980)
Ref. 15. Glow Discharge Processes, B. Chapman, cap. 3, John Wiley (1980)
Ref. 16.Adsorção, Difusão Superficial e Crescimento de Flmes
REf. 17. Glow Discharge Processes, B. Chapman, cap. 5, John Wiley (1980)
Ref. 20. “Thin Flm Deposition”, D.L. Smith, cap.10, seção 10.3.2, McGraw-Hill (1995).
Ref. 21. “Thin Film Technology”, L. Maisell e R. Glang, cap. 13, McGraw-Hill (1970).
Ref. 23. “Thin Films”, K.D. Leaver and B. N. Chapman, cap. 6, Spinger Verlag (1971).
Cópia slides sobre propriedades elétricas de filmes
Cópia slides sobre propriedades mecânicas de filmes finos
Cópia slides sobre propriedades ópticas de filmes
Cópia slides da apresentação de plasmas de descarga luminescente
Cópia conjunto de slides de natureza do processo de sputtering
Cópia dos slides de Deposição de Filmes por Evaporação Térmica
Cópia dos slides de Natureza do Processo de Sputtering
Cópia do conjunto de sildes de Colisões na Fase Gasosa
Relações importantes em teoria cinética dos gases
Evaporação de uma fonte esférica
Exercícios sobre Evaporação Termica
Cópia dos slides de Controle do Processo de Deposição
3. Chapman, ch 5, RF Discharges
4. Vossen-Kern, chs I-1 to II-5
6. Cópias slides de deposição por evaporação térmica
7. Maissel and Glang, ch 1, Vacuum Evaporation
9. Teoria cinética dos gases rarefeitos
11. Tabela de Pressão de Vapor dos Elementos
12. Tabela de Temperatura de Materiais de Suporte Usados na Evap dos Elem
13. Tabela de Evaporação Direta de Compostos Inorgânicos
14. Tabela para Evaporação com Duas Fontes
16. Cópia slides de controle de deposição I
17. Física de Vácuo – Conceitos Básicos
19. Manômetros de Vácuo e Sensores de Fluxo de Gás
20. Cópia slides bombas de vácuo
21. Cópia slides manômetros de vácuo
23. Cópia slides natureza do efeito de sputte
25. Capítulo de óptica (Leaver e Chapman)
26. Tabelas de Rendimento de Sputtering
27. Cópia slides plasmas de descarga luminescente
28. Chapman, ch 2, Gas Phase Collision Processes
29. Cópia slides sputtering reativo
30. DC Glow Discharges Cap 4 Chapman
32. Cópia slides sputtering com polarização do substrato
33. Cópia slides deposição por PECVD
34. Cópia slides sputtering – fontes e taxas
35. Cópia slides sputt reativo
37. Exercício (refeito) sobre célula de efusão
38. Exercícios e soluções sobre vácuo e sputtering
39. Propriedades elétricas filmes metálicos
40. Propriedades elétricas de metais
41. Cópia slides sobre propiedades elétricas
42. Problemas resolvidos 1a prova sem II 2024
43. Adsorção, Difusão Superficial e Crescimento de Flmes
45. Ion Beam Etching (Vossen II)
46. Efeito Hall em semicondutores
47. Proriedades Mecânicas de Filmes
48. Notas sobre cálculos em XPS
49. Artigo sobre seções dee choque de XPS (Scofield)
52. RBS – Espectroscopia de espalhamento